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Kathodenzerstäubung und ihre Anwendung in der Dünnschichttechnologie

✍ Scribed by Heinz Teves

Book ID: 111701330
Publisher: John Wiley and Sons
Year: 1990
Tongue: English
Weight: 558 KB
Volume: 2
Category: Article
ISSN: 0947-076X
DOI: 10.1002/vipr.19900020107

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