✦ LIBER ✦
Influence des principaux paramètres opératoires sur le dépôt de silicium à partir de silane par CVD en lit fluidisé en vue de limiter les problèmes d'agglomération
✍ Scribed by J. Rodriguez Ramiro Ruvalcaba; Brigitte Caussat; Merhdji Hemati; Jean-Pierre Couderc
- Publisher
- John Wiley and Sons
- Year
- 2000
- Tongue
- English
- Weight
- 993 KB
- Volume
- 78
- Category
- Article
- ISSN
- 0008-4034
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