Hochauflösende Auger-Elektronen-Spektroskopie zur Charakterisierung von Hartstoffschichten

✍ Scribed by E. Nold; Dr. C. Adelhelm; Prof. Dr. H. Holleck

• Book ID: 102496608
• Publisher: John Wiley and Sons
• Year: 1990
• Tongue: English
• Weight: 331 KB
• Volume: 21
• Category: Article
• ISSN: 0933-5137
• DOI: 10.1002/mawe.19900210310

✦ Synopsis

Abstract

An einer zehnlagigen Titannitrid‐Titanborid‐Schicht auf WC‐Co‐Substrat wurde die Durchmischungsbreite Δz nach verschiedenen Meßmethoden bestimmt. Mit Linescans am 10°‐Schrägschliff lassen sich unter den angewandten Meß‐bedingungen Δz = minimal 30 nm nachweisen. Die visuelle Bestimmung von Δz über SE‐bilder am Schrägschliff ist nicht sinnvoll. Bei Anwendung der Tiefenprofilanalyse durch sukzessiven Abtrag mit Ar‐Ionen wurden Δz von wenigen nm nachgewiesen. Dies ist jedoch nur bei Schichtdicken von wenigen nm möglich, bei der Zehnlagenschicht mit 0,7 pm dicken Einzelschichten wird Δz wesentlich durch den Abtrag mit Argonionen beeinfluljt.

Die AES‐Quantifizierung erfolgte empirisch mit Standards. In der Zehnlagenschicht bestehen die Titannitrid‐Schichten aus stöchiometrischen TiN~1.0~, während die Titanborid‐Schichten eine Stöchiometrie von TiB~2.6bis2.9~ aufweisen. Die AES‐Quantifizierung wurde mit konventionellen Analysenmethoden an Modellschichten überpruft.