Herstellung von Hartstoffschichten durch nachträgliche Erwärmung von ionenimplantiertem Titan

✍ Scribed by M. Quast; P. Mayr; H.-R. Stock

• Book ID: 101379021
• Publisher: John Wiley and Sons
• Year: 2000
• Tongue: English
• Weight: 239 KB
• Volume: 31
• Category: Article
• ISSN: 0933-5137
• DOI: 10.1002/1521-4052(200007)31:7<598::aid-mawe598>3.0.co;2-l

✦ Synopsis

Stickstoff-und Kohlenstoffionen wurden bei Substrattemperaturen unter 50 8C in Reintitan und TiAl6V4 implantiert. Infolge der niedrigen Temperatur konnte die Bildung der Hartstoffe Titannitrid und -carbid verhindert werden. Nach einer anschlieûenden Wa Èrmebehandlung zeigten Ro Èntgenbeugungsbilder die Interferenzen von Titannitrid und Titancarbid. Unterschiedliche Diffusionskoeffizienten von Stickstoff und Kohlenstoff in a-und b-Titan fu Èhren zu unterschiedlichen Kristallitgro Èûen der Hartstoffphasen. Eine Dehnung des Substratgitters und die Bildung der Hartstoffphasen verursacht einen Ha Èrteanstieg und eine verbesserte Verschleiûbesta Èndigkeit der Titanwerkstoffe