G. Dearnaley, J. H. Freeman, R. S. Nelson, J. Stephen. Ion implantation. North-Holland Publishing Company 1973 (Series: Defects in Crystalline Solids, Eds. S. Amelinckx et al., Vol. 8) 802 Seiten, 408 Abbildungen. Preis etwa US $ 79.00
✍ Scribed by J. Heydenreich
- Book ID
- 102123985
- Publisher
- John Wiley and Sons
- Year
- 1974
- Tongue
- English
- Weight
- 144 KB
- Volume
- 9
- Category
- Article
- ISSN
- 0232-1300
No coin nor oath required. For personal study only.
✦ Synopsis
Amelinckx et al., Vol. 8) 802 Seiten, 408 Abbildungen. Preis etwa US . # 79.00 M e Ionenimplantation als relativ modernes Gebiet in Forschung und Praxis ist ein echt interdiszipliMrer Wissenszweig, der Teilgebiete der Festkiirperphysik, der Kernphysik und der Atomphysik gleichermden betrifft. Der bei der Ionenimplantation angewandte ProzeB des Einbringens geeigneter Atome in einen FesWrper durch EinschuB von ionisierten Teilchen zur gezielten Verlnderung der physikaliechen und chemischen Eigenschaften ist sehr vielffiltiger Art. In der Anlage des Buches wurde von den Autoren Wert darauf gelegt, den ImplantationsprozeR in