Formation de dépôts de nitrure de silicium en couche mince obtenus par réaction chimique dans une décharge R.F. Basse pression

✍ Scribed by G. Turban; Y. Catherine

• Book ID: 107862232
• Publisher: Elsevier Science
• Year: 1976
• Tongue: English
• Weight: 662 KB
• Volume: 35
• Category: Article
• ISSN: 0040-6090
• DOI: 10.1016/0040-6090(76)90255-8