Etude par spectroscopie d'emission optique de decharges radiofrequence et micro-onde lors du depot chimique en phase vapeur (PACVD) dans le systeme Si-C-H-Ar

✍ Scribed by M. Andrieux; J.M. Badie; M. Ducarroir; L. Thomas

• Book ID: 114124759
• Publisher: Editions Lavoisier
• Year: 1998
• Tongue: English
• Weight: 779 KB
• Volume: 23
• Category: Article
• ISSN: 0151-9107
• DOI: 10.1016/s0151-9107(99)80021-x