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Elektronenstrahl-Mikroanalyse d�nner Schichten im Submikronbereich

✍ Scribed by Weisweiler, Werner ;Neff, Renate

Publisher
Springer-Verlag
Year
1980
Weight
479 KB
Volume
73
Category
Article
ISSN
0344-838X

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✍ Prof. Dr. O. Knotek; Dipl.-Ing. A. Schrey; Prof. Dr. J. W. Schultze; Dr. B. Siem 📂 Article 📅 1992 🏛 John Wiley and Sons 🌐 German ⚖ 952 KB

## Abstract Dünne metallische Hartstoffschichten aus TiN, TiBN, TiB~2~ wurden durch die PVD‐Technik des reaktiven Hochleistungskathodenzerstäubens auf Titangrundwerkstoff abgeschieden und durch Röntgenstrukturanalyse und Elektronenrasteraufnahmen charakterisiert. Die Härte der Schichten wächst mit