Elektronen als “unsichtbare Tinte”: Herstellung von Nanostrukturen durch lokale elektronenstrahlinduzierte Aktivierung von SiOx

✍ Scribed by Marie-Madeleine Walz; Michael Schirmer; Florian Vollnhals; Thomas Lukasczyk; Hans-Peter Steinrück; Hubertus Marbach

• Publisher: John Wiley and Sons
• Year: 2010
• Tongue: English
• Weight: 603 KB
• Volume: 122
• Category: Article
• ISSN: 0044-8249
• DOI: 10.1002/ange.201001308