Einsatz physikalischer Analysemethoden zur Charakterisierung von dünnen Schichten und Grenzflächen in der Halbleiterindustrie. Application of physical analysis techniques for thin film and interface characterization in semiconductor industry

✍ Scribed by Ehrenfried Zschech; Eckhard Langer; Hans-Jürgen Engelmann; Kornelia Dittmar; Werner Blum

• Publisher: John Wiley and Sons
• Year: 2001
• Tongue: English
• Weight: 374 KB
• Volume: 13
• Category: Article
• ISSN: 0947-076X
• DOI: 10.1002/1522-2454(200101)13:1<29::aid-vipr29>3.0.co;2-6