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Edle Schichten für die Brille

✍ Scribed by Claudia Borchard-Tuch

Publisher
John Wiley and Sons
Year
2004
Tongue
German
Weight
249 KB
Volume
38
Category
Article
ISSN
0009-2851

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## Abstract HSS‐Zerspanwerkzeuge wurden mittels Magnetron‐Sputtern mit TiN beschichtet unter Variation der Sputterparameter Druck, Leistung und Bias‐Spannung. Untersucht wurde der Zusammenhang zwischen den grundlegenden Schichteigenschaften Eigenspannung, Härte und Morphologie und dem Verhalten geg