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Dépôts de nitrure de silicium et de silice par méthode photochimique. Passivation de la surface d'InP par (NH4)2 Sx. Application au MISFET-InP: M. Petitjean, N. Proust and J. F. Chapeaublanc. Revue Technique Thomson-CSF, 24(3), 725 (1992). (In French.)


Publisher
Elsevier Science
Year
1993
Tongue
English
Weight
208 KB
Volume
33
Category
Article
ISSN
0026-2714

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