Dépôt chimique en phase vapeur et à basse pression de couches minces à base de silicium dans un réacteur à lampes halogène

✍ Scribed by Semmache, B; Kallel, S; Omari, H El; Lemiti, M; Laugier, A

• Book ID: 126062382
• Publisher: NRC Research Press
• Year: 2000
• Tongue: English
• Weight: 95 KB
• Volume: 77
• Category: Article
• ISSN: 0008-4204
• DOI: 10.1139/p99-035