Mehrphasige nitridhaltige Schichten und Hartstoffschichten stellen in den meisten Fallen angepailjte Einzellosungen fur Reibungs-und VerschleiBprobleme dar. Nicht immer konnen gleichzeitig komplexe Anforderungen, wie z. B. zusatzlicher Korrosionsschutz, erreicht werden. Diese Anforderungen erfordern neuartige Losungswege oder modifizierte Verfahrensvarianten konventioneller Technologien. Einen breiten Raum bei derartigen Multifunktionsschichtsystemen nehmen die nichtmetallisch-anorganischen Schichten ein. Sie werden durch chemische oder elektrochemische, wie auch durch CVD-, PVD-und Plasmaspritzverfahren, sowie Kombinationen dieser Verfahren, gebildet [l]. Nicht selten wird die Schichtbildung sogar plasma-, ionenstrahl-oder laserstrahlgestiitzt durchgefuhrt. Je nach Art der reagierenden Stoffe werden Oxid-, Borid-, Karbid-, Silizid-und Nitridschichten oder auch Kombinationen von diesen erzeugt . Dabei konnen diese Schichten arteigen oder artfremd auf dem Substratmaterial ausgebildet sein. A l s arteigene Schutzschichten auf Eisenwerkstoffen konnen schon Inoxidier-oder auch Anodisierschichten gewertet werden und als artfremde Schicht kann eine elektrophoretisch oder elektrolytisch abgeschiedene Aluminiumoxid-hydroxidschicht fungieren. Die Abscheidung kann dabei aus wailjrigen als auch nichtwailjrigen Medien erfolgen. Eine technische Nutzung einer Aluminiumoxid-hydroxidschicht in Abscheideform verbietet sich allerdings aufgrund der geringen Haftfahigkeit. Um dies zu erreichen sind die oxidisch-hydroxidischen Abscheidungen durch Warmebehandlungsverfahren zu dehydratisieren und haftfest auf dem Substrat aufzusintern undloder Diffusionsschichtsysteme zu erzeugen. Dabei kann die Warmebehandlung mit konventioneller Technik oder aber auch durch nichtkonventionelle Funkenentladung [2] oder auch durch anodische Erwarmung [3] erfolgen. Derartige Schichten, als Dispersionsschichten, z. B. rnit Bor und/oder Silizium abgeschieden, oder in einer stickstoff-und/oder kohlenstoffhaltigen Reaktionsgasatmosphare warmebehandelt, fiihren zu auflegierten Diffusionsschichten von hoher Harte und spezifisch ausgebildetem Porensaum mit erhohter Passivitat.