✦ LIBER ✦
Die Bestimmung des Sauerstoffgehaltes in Silizium nach Ionenimplantation durch eine SiO2-Deckschicht mit Hilfe der Reaktion18O(p, α)15N
✍ Scribed by R. Grötzschel; R. Klabes; U. Kreissig; G. Mende; W. Rudolph; A. Schmidt
- Book ID
- 112764550
- Publisher
- Springer
- Year
- 1975
- Tongue
- English
- Weight
- 205 KB
- Volume
- 28
- Category
- Article
- ISSN
- 1588-2780
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