Die abtragung dünner schichten von P- und B-implantiertem Silizium mit Hilfe der anodischen Oxydation

✍ Scribed by Günter Mende; Gudrun Küster

• Book ID: 107862233
• Publisher: Elsevier Science
• Year: 1976
• Tongue: English
• Weight: 379 KB
• Volume: 35
• Category: Article
• ISSN: 0040-6090
• DOI: 10.1016/0040-6090(76)90258-3