Dickenbestimmungen an dünnen Metallschichten durch optische Untersuchungen und Röntgenstrahlinterferenzen
✍ Scribed by Franz Odenbach
- Publisher
- John Wiley and Sons
- Year
- 1940
- Tongue
- English
- Weight
- 829 KB
- Volume
- 430
- Category
- Article
- ISSN
- 0003-3804
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✦ Synopsis
Dickenbeetirnrnuirgen ail d u m z e n Metnllschicicteib durah optinche Ulztoreuchurrgen uihd Roeztgewstrui,lilzterf'erenxerrz') Von S r a i b a O d e i z b a c h (Mit 3 Abbildnngen) 5 1. Einleitung Zur Bestimmung der optischen Konstanten dunner Metallschichten mittels Beobachtung des Polarisationszustandes des an der Schicht reflektierten und von ihr durchgelassenen Lichtes hat F o r s t e r l i n g z ) kurzlich Formeln angegeben, die es gestatten, unter der Annahme, daf3 die Schicht homogen und isotrop ist, den Brechungsindex n und den Absorptionskoeffizienten k ohne jede Vernachlassigung zu berechnen. Bei den neuen Formeln wird die OberHache der Schicht nicht mit anderen Stoffen in Beriihrung gebracht. In dieser Arbeit solleu die Voraussetzungen, die bei der Ableitnng der E'ormeln zugrunde lagen, gepruft werden und die Konstanten einiger Metalle in dunner Schicht ermittelt werden. Um die Anwendbarkeit der neuen Methode zur Bestimmung von m und k zu priifen, wurde die Dicke der Schicht nach zwei vollkommen verschiedenen Methoden bestimmt. Zunachst wurde die Dicke der Schicht unter Verwendung der nach den neuen Formeln berechneten GroBen ?L und k nach der von E s s e r s -R h e i n d o r f 3 ) benutzten Methode bestimmt. Ferner wurde die Dicke der Schicht nach den von H. K i e s s i g entdeckten Rontgenstrahlinterferenzen an diinnen Metallschichten bestimmt 4). W 2. Die Berechnung der optischen Konetanten und die optische Dic kenbeetimmung Die untersuchten Schichten wurden durch Aufdampfen dcs betretfenden Metalls im Hochvakuum hergestellt. Die Beobaclitung 1) D. 38. 2) K. F o r s t e r l i n g , Ann. d. Phys. [5] 30. S. 745. 1937. 3) R. FBrBterling, Gott. Nachr. S.449. 1911; N. G a l l i , Diss.Gottingen 1911; B. P o g a n y , Ann. d. l'hys. [A] 49. S.531. 1916; G. Eseera-Mheind o r f , Ann. d. Phys. [5] 25. S. 297. 1937. 4) 11. K i e s s i g , Ann. d. Phys. [5] 10. S. 769. 1931. Annalen der Pliysik. 5 . Polge. 38.
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