Development of an integrated cryopump for the application in vacuum research-and production units.: Prof Dr F X Eder, Direktor bei der Kommission für Tieftemperaturforschung der Bayerischen Akademie der Wissenschaften, München, Marstallplatz 8 Dr J Hengevoss und Dipl-Ing H Wössner, Balzers Aktiengesellschaft für Hochvakuumtechnik und Dünne Schichten, Balzers, Fürstentum Liechtenstein