Development d'un modele theorique d'evolution de surfaces soumises au bombardement ionique pour applications à la gravure : M. Cantagrel. Microelectron. and Reliab.14, 419 (1975)

• Book ID: 103272194
• Publisher: Elsevier Science
• Year: 1976
• Tongue: English
• Weight: 120 KB
• Volume: 15
• Category: Article
• ISSN: 0026-2714
• DOI: 10.1016/0026-2714(76)90461-3