Der Einfluß unterschiedlicher Kohlenwasserstoffe auf Darstellung, Struktur und Verschleißfestigkeit von CVD-TiCx-Hartstoffschichten

✍ Scribed by Dr. rer. nat. A. Leonhardt; Prof. Dr. E. Wolf

• Publisher: John Wiley and Sons
• Year: 1994
• Tongue: English
• Weight: 798 KB
• Volume: 25
• Category: Article
• ISSN: 0933-5137
• DOI: 10.1002/mawe.19940250207

✦ Synopsis

Abstract

Es wurden TiC~x~‐Schichten über thermisches CVD mit unterschiedlichen Kohlenwasserstoffen (Methan, n‐Heptan, Cyclohexan, Benzen, Ethylbenzen, Xylen) auf Hartmetallen abgeschieden. Der Abscheidungsprozeß, das Schichtwachstum und die Struktureigenschaften (Textur, Substruktur) der Schichten werden wesentlich vom eingesetzten Kohlenwasserstoff beeinflußt. Es werden Korrelationen zwischen der thermischen Stabilität der Kohlenwasserstoffe, dem Abscheidungsverhalten, der Abscheidungsrate und den Schichtstruktureigenschaften aufgezeigt sowie Schlußfolgerungen für praktische Anwendungen gezogen.