Corrosion Books: Chemical Vapor Deposition. By Jong-Hee Park und T. S. Sudarshan - Materials and Corrosion 2/2003
✍ Scribed by G. Reiners
- Publisher
- John Wiley and Sons
- Year
- 2003
- Tongue
- German
- Weight
- 35 KB
- Volume
- 54
- Category
- Article
- ISSN
- 0947-5117
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✦ Synopsis
Das vorliegende Buch ist in der Reihe Surface Engineering der ASM International erschienen. Die beschriebenen CVD-Techniken werden hauptsa Èchlich zum Aufbringen du Ènner Schichten in wichtigen technologischen Bereichen wie der Mikroelektronik, Optik oder dem Maschinenbau eingesetzt. Es lassen sich mit CVD-Techniken aber auch hochreine Werkstoffe, Komposite und Pulver herstellen. Die 14 Kapitel wurden von jeweils unterschiedlichen Autoren bzw. Autorenkollektiven geschrieben. Die Editoren haben sich erfolgreich um ein einheitliches Erscheinungsbild bemu Èht. Nach der ¹Einfu Èhrung in die CVDª werden die ¹Grundlagen der Thermodynamik und Kinetik der CVDª beschrieben. Es folgt ein Kapitel, das die Probleme der ¹Eigenspannung und mechanischen Stabilita Èt von CVD-Schichtenª beleuchtet. Danach werden unterschiedliche Verfahren beschrieben: ¹Combustion CVDª, ¹Polarisierte elektrochemische Dampfabscheidungª, ¹Chemical Vapor Infiltrationª, ¹CVD mit metallorganischen Precursorenª, ¹CVD von Polymerenª, ¹Nickelabscheidung mittels CVDª, ¹Diamant, DLC und CN-Schichten mittels CVD-Beschichtungª, ¹CVD-Diamantschichten fu Èr tribologische Anwendungenª, ¹CVD-Schichten zur elektrischen Isolationª, ¹Korrosionsschutz durch CVD-Schichtenª und die ¹Wa Èrmebehandlung von CVD-beschichteten Werkzeugsta Èhlenª. Die fast 500 Seiten liefern geballte und aktuelle Informationen, die durch gutes Bildmaterial, Tabellen und umfangreiche Literaturzitate erga Ènzt werden. Das Buch liefert praxisbezogene Informationen sowohl u Èber die Durchfu Èhrung als auch die Anwendungen von CVD-Techniken. Es ist konzipiert sowohl als Nachschlagewerk fu Èr erfahrene Anwender als auch zur Einarbeitung neuer Nutzer. In seinem klar gegliederten und sorgfa Èltigen Aufbau ist das Buch auch als Arbeitshilfe fu Èr Studenten geeignet. ± CB07401 ± G. Reiners