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Berechnung des schichtwiderstandes für die borimplantation in silizium

✍ Scribed by B. Spangenberg; G.M. Mladenov; V.I. Orlinov

Book ID
107862756
Publisher
Elsevier Science
Year
1980
Tongue
English
Weight
316 KB
Volume
71
Category
Article
ISSN
0040-6090

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## Abstract ES ist bekannt, daß man mit linearen Schadensakkumulationshypothesen keine verläßlichen Lebensdauerwerte bei mehrstufigen Kriechbelastungen berechnen kann. Einen brauchbaren nichtlinearen Ansatz schlug __Pantelakis vor__. Neben der einstufigen Kriechlebensdauerlinie werden Ergebnisse au