Aufbau und Eigenschaften „ohmscher” Kontakte an GaSb
✍ Scribed by Dr. K. Vogel; Dr. A. Engel
- Publisher
- John Wiley and Sons
- Year
- 1973
- Tongue
- English
- Weight
- 587 KB
- Volume
- 8
- Category
- Article
- ISSN
- 0232-1300
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✦ Synopsis
Abstract
Ausgehend von einigen allgemeinen Betrachtungen zum Begriff „ohmscher”︁ Kontakt werden Messungen der Kontaktwiderstände von Ag‐, Au‐; Ni‐, Al‐; In‐, Sn‐und Ag–In‐Kontakten dargestellt, die durch Aufdampfung auf p‐ und n‐GaSb erzeugt wurden. Die Schritte zur Herstellung dieser Kontakte wurden kristallographisch untersucht. Die Messung der Kontaktwiderstände erfolgte nach der Vierspitzenmethode. Die experimentellen Bestimmungen des Kontaktwiderstandes R~K~ bzw. ϱ~K~ zeigen einen deutlichen Einfluß der Oberflächenbehandlung und Oberflächenstruktur, des Kontaktmetalls und der Meßtemperatur. Sn/Ag/Au‐Kontakte an n‐GaSb sowie Ag‐ und Au‐Kontakte an p‐GaSb liefern nach einem Legierungsprozeß sperrfreie Kontakte.