Applicability of multiple angle of incidence ellipsometry (MAI). Measurements to GaAs anodic oxide and GaP anodic oxide systems at the wavelength 632.8 nm
✍ Scribed by Dr. K. Löschke; Dipl.-Math. J. Baumgarten
- Publisher
- John Wiley and Sons
- Year
- 1978
- Tongue
- English
- Weight
- 491 KB
- Volume
- 13
- Category
- Article
- ISSN
- 0232-1300
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✦ Synopsis
Applicability of Multiple Angle of Incidence Ellipsometry (MAI). Measurements to GaAs Anodic Oxide and GaP
Anodic Oxide Systems at the Wavelength 632.8 nm Usefulness of MA1 in practical studies of unknown optical systems is controversial in literature. I n the present paper i t is shown that the simple cross correlation test by IBRA-HIM and BASHARA with a modified correlation criterion provides a sure information on the feasibility of MA1 calculations. Its application to GaAs and GaP anodic oxide systems shows that in the thickness range 0 to 2500 A two distinct areas exist in the cases of t,he two materials in which the combination of the five parameters of the one-film system enables a successful and optimal use of MA1 calculations. However, all five parameters are not unreservedly calculable. Therefore, we propose a method of a stepwise variation of the fixed thickness in the range of the true value for solving the five parameter problem.
An examination of the MA1 solutions with experimental data is given.
Aus der Literatur geht hervor, dal3 die Anwendbarkeit der Vielwinkelellipsometrie (MAI) umstritten ist. I n der vorliegenden Arbeit wird gezeigt, dal3 die einfache Methode des Korrelationstests nach IBRAHIM und BASHARA mit einer Modifizierung des Korrelationskriteriums eine sichere Information iiber die Anwendbarkeit der MA1 liefert. Ihre Anwendung auf die Systeme GaAslanodisches Oxid und GaP/anodisches Oxid zeigt, daB im Dickenbereich von 0 bis 2500 A bei beiden Materialien zwei ausgezeichnete Dickenbereiche existieren, in denen die Kombination der Parameter des Einschichtsystems optimale MAI-Rechnungen erlauben. Alle ftinf Parameter jedoch sind nicht ohne Einschrankungen errechenbar. Es wird deshalb eine Methode vorgeschlagen, die durch Variation der festgehaltenen Dicke im Bereich des tatsachlichen Wertes das funf -Parameter-Problem lost. Die MAI-Ergebnisse werden durch experimentelle Daten uberpriift.