Anlagen- und Prozesstechnik für die Mikrobearbeitung mit Vakuum-UV Excimer-Laser. Machine and Process Technology for Micro-Machining with vacuum-UV Excimer Laser

✍ Scribed by Andreas Ostendorf; Winfried Arens; Christian Kulik; Thorsten Temme

• Publisher: John Wiley and Sons
• Year: 2001
• Tongue: English
• Weight: 259 KB
• Volume: 13
• Category: Article
• ISSN: 0947-076X
• DOI: 10.1002/1522-2454(200104)13:2<96::aid-vipr96>3.0.co;2-0