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AFM-Untersuchungen zu adhäsiven Wechselwirkungen an einkristallinem Si und voroxidiertem SiC in Abhängigkeit von der relativen Luftfeuchte

✍ Scribed by K. Pöhlmann; K.-H. Zum Gahr

Publisher: John Wiley and Sons
Year: 2000
Tongue: English
Weight: 276 KB
Volume: 31
Category: Article
ISSN: 0933-5137
DOI: 10.1002/(sici)1521-4052(200004)31:4<280::aid-mawe280>3.0.co;2-7

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✦ Synopsis

AFM-Untersuchungen zu adha È siven Wechselwirkungen an einkristallinem Si und voroxidiertem SiC in Abha È ngigkeit von der relativen Luftfeuchte AFM investigations of the adhesive interactions of single-crystal Si and preoxidized SiC as a function of the relative humidity